OPEN SYS系列全开放的显微测试加工平台
开放式扫描探针显微镜

单一探头的多功能平台结构，集成扫描隧道(STM)、原子力(AFM)、摩擦力(LFM)和静电力显微镜(EFM)功能，工作模式包括接触、轻敲、相移成像等

独特的探针类型和扫描器的编码——智能识别技术，全数字控制的参数设置和采集

数字控制反馈回路，16-bit分辨的A/D和D/A

采用单一的外触发时基和高速缓存，实现多通道信号的高速同步采集

采用基于TCP/IP协议的高速通信接口，实现双处理器——双操作系统的协同工作和大容量高速数据交换，使系统具有极大的开放性

系统内部预留多个可供输入/输出信号的处理通道，具有方便的扩展能力

系统外部预留标准开放接口，满足用户对仪器进行二次开发的需求

具有I-V曲线和力曲线等测量分析功能

具有图形刻蚀模式和矢量扫描模式的纳米加工技术

具备超媒体用户界面的纳米操纵工具

用户控制端软件兼容Windows 9X/ME/NT/2000/XP/7/8/10操作系统

分析处理软件在数据类型识别方面采用固定编码和动态编码两种技术，实现系统的开放性和可扩展性

扫描区域多种分辨率选择及高度、对比度的实时调整，可连续采集、存储和重现动态过程

实时定点测试功能

方便的鼠标控制扫描区域平移、剪切功能，扫描角度连续可调，多种样品倾斜度实时校正功能

样品粒度和粗糙自动分析功能

分辨率： STM：横向 0.13nm  垂直 0.01nm（以石墨定标）    
                AFM：横向 0.26nm  垂直 0.1nm （以云母定标）

电流检测灵敏度：≤10pA

力检测灵敏度：  ≤1nN

空间定位精度：  ≤0.5nm

预留输出信号通道数：6ch   （1ch±200V，5ch±10V，16-bit DAC）

预留输入信号通道数：16ch   （100kHz采样率，16-bit ADC，带可控低通滤波器和可控增益放大器）

预留频率合成输出： 2ch  （振幅为0～2V；频率为DC～1000kHz，32-bit分辨）

集成STM、AFM和LFM等多种模式的扫描探头  

在线控制/后处理软件

主流配置微机，预装Windows操作系统

1μm  ×  1μm Scanner

20μm × 20μm Scanner

50μm × 50μm Scanner（选配）

70μm × 70μm Scanner（选配）  

100μm×100μm Scanner（选配）

光学辅助显微系统（选配）  

可附加第二显示器（选配）